Semiconductor ဖြစ်စဉ်များအတွက်သန့်ရှင်းစင်ကြယ်သောဓာတ်ငွေ့ပို့ဆောင်ရေးစနစ်များအတွက်နည်းပညာဆိုင်ရာဖြေရှင်းနည်းများ

သန့်ရှင်းသောဓာတ်ငွေ့ပိုက်လိုင်းသည်သန့်ရှင်းစင်ကြယ်သောဓာတ်ငွေ့ထောက်ပံ့ရေးစနစ်၏အရေးကြီးသောအစိတ်အပိုင်းဖြစ်ပြီးလိုအပ်သောအရည်အသွေးမြင့်ဓာတ်ငွေ့ကိုအသုံးပြုရန်နှင့်အရည်အချင်းပြည့်မှီသောအရည်အသွေးကိုထိန်းသိမ်းရန်အဓိကနည်းပညာဖြစ်သည်။ သန့်ရှင်းသောဓာတ်ငွေ့ပိုက်လိုင်း၏မှန်ကန်သောဒီဇိုင်းတွင်စနစ်၏မှန်ကန်သောဒီဇိုင်း, fittings နှင့်ဆက်စပ်ပစ္စည်းများ, ဆောက်လုပ်ရေးနှင့်တပ်ဆင်ခြင်းနှင့်စမ်းသပ်ခြင်းတို့ပါဝင်သည်။ မကြာသေးမီနှစ်များအတွင်းအကြီးစားပေါင်းစပ်ထားသောဆားကစ်များထုတ်လုပ်သည့် Microelectronics ထုတ်ကုန်များထုတ်လုပ်သည့်မိုက်ခရိုော်ဂျက်ဓာတ်ငွေ့ထုတ်လုပ်မှုဆိုင်ရာသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သောဓာတ်ငွေ့ထုတ်လုပ်မှုဆိုင်ရာသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သောဓာတ်ငွေ့ထုတ်လုပ်မှုဆိုင်ရာသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သောဓာတ်ငွေ့များထုတ်လုပ်ခြင်းနှင့်ပတ်သက်သောတင်းကျပ်သောလိုအပ်ချက်များသည်မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သောဓာတ်ငွေ့များပိုက်လိုင်းများကို အသုံးပြု. အလေးအနက်ထားသည်။ အောက်ဖော်ပြပါအချက်များသည်သန့်ရှင်းစင်ကြယ်သောဓာတ်ငွေ့ပိုက်လိုင်းကိုရုပ်ပစ္စည်းရွေးချယ်ခြင်းမှအကျဉ်းချုပ်အကျဉ်းချုပ်ဖြစ်သည်of ဆောက်လုပ်ရေးနှင့်လက်ခံမှုနှင့်နေ့စဉ်စီမံခန့်ခွဲမှု။

ဘုံဓာတ်ငွေ့အမျိုးအစားများ

အီလက်ထရွန်းနစ်စက်မှုလုပ်ငန်းများတွင်ဘုံဓာတ်ငွေ့ခွဲခြားဖြေ -

ဘုံဓာတ်ငွေ့(အမြောက်အများဓာတ်ငွေ့): ဟိုက်ဒရိုဂျင် (ဇ₂₎, နိုက်ထရိုဂျင် (n₂), အောက်စီဂျင် (o₂), အာဂွန် (က₂) စသည်ဖြင့်

အထူးဓာတ်ငွေ့sih ဖြစ်ကြသည်₄ ,PH₃ ,B₂H_{6 ,}A₈H₃ ,CL ,HCl,CF₄ ,NH_3,pocl_3, SiH2Cl₂ sihcl3,NH_3,  ခေြးဘလင်း_{3 ,}နေရောင်ခြည်₄ ,ဗစ်ဗ်ဗစ်တ်₃ ,စုပေါင်း,C₂F_6, n2o,F_2,ဝက်,HBR SF₆...... စသည်တို့ကို

အထူးဓာတ်ငွေ့အမျိုးအစားများကိုယေဘုယျအားဖြင့် cornisive အဖြစ်သတ်မှတ်နိုင်သည်ဓါတ်ငေှ့အဆိပ်အဆိပ်အတောက်ဓါတ်ငေှ့, လောင်သောဓါတ်ငေှ့လောင်ကျွမ်းလွယ်သောဓါတ်ငေှ့, inertဓါတ်ငေှ့စသည်တို့ကိုအများအားဖြင့်အသုံးပြုသော Semiconductor ဓာတ်ငွေ့များကိုအောက်ပါအတိုင်းယေဘုယျအားဖြင့်ခွဲခြားထားသည်။

(ဈ) corrosive / အဆိပ်ဓါတ်ငေှ့: HCL, BF₃, WF₆SIH,₂Cl₂nh₃ph₃CL₂BCL₃... စသည်တို့။

(ii) လောင်စာဆီဓါတ်ငေှ့: ဇ₂, ch₄sih₄ph₃, Ash3, SISH₂Cl₂ခ₂H₆, ch2f_2,အထူး c₃f, Co ... စသည်တို့ကို။

(iii) လောင်ကျွမ်းခြင်းဓါတ်ငေှ့: ဏ₂CL₂, n₂o NF₃... စသည်တို့

()) inertဓါတ်ငေှ့: n₂CF₄ဂ₂F₆ဂ₄F_8,sf₆CO₂, NE, KR, သူ ... စသည်တို့ကို။

များစွာသော semiconductor ဓာတ်ငွေ့များသည်လူ့ခန္ဓာကိုယ်ကိုအန္တရာယ်ဖြစ်စေနိုင်သည်။ အထူးသဖြင့်, ထိုကဲ့သို့သောဓာတ်ငွေ့အချို့, sih အဖြစ်₄ အလိုအလျောက်လောင်ကျွမ်းခြင်းသည်ယိုစိမ့်မှုသည်လေထုထဲတွင်အောက်စီဂျင်နှင့်ပြင်းထန်စွာဓာတ်ပြုပြီးလောင်ကျွမ်းစေပြီးလောင်ကျွမ်းစေလိမ့်မည်။ ပြာ₃အလွန်အဆိပ်အတောက်ဖြစ်စေသောမည်သည့်ယိုစိမ့်မှုမဆိုလူ့ဘ 0 ၏အန္တရာယ်ကိုဖြစ်ပေါ်စေနိုင်သည်, ၎င်းသည်သိသာထင်ရှားသည့်အန္တရာယ်များကြောင့်ဖြစ်သည်။ ထို့ကြောင့်စနစ်ဒီဇိုင်း၏လုံခြုံမှုအတွက်လိုအပ်ချက်များသည်အထူးသဖြင့်မြင့်မားသည်။

application ၏ application scope  

ခေတ်မီစက်မှုလုပ်ငန်းအတွက်အရေးကြီးသောအခြေခံကုန်ကြမ်းပစ္စည်းအဖြစ်သဘာဝဓာတ်ငွေ့ထုတ်ကုန်များကိုကျယ်ကျယ်ပြန့်ပြန့်အသုံးပြုသည်။ ထုတ်လုပ်မှု, အထူးသဖြင့်ဤနယ်ပယ်များ၏မြင့်မားသောနည်းပညာများအပေါ်တွင်ဓာတ်ငွေ့အသုံးချမှုသည်အရေးကြီးသောသက်ရောက်မှုရှိသည်။ စက်မှုလုပ်ငန်းကဏ် sectors အသစ်များနှင့်ခေတ်သစ်သိပ္ပံနှင့်နည်းပညာအသစ်များ၏လိုအပ်ချက်နှင့်မြှင့်တင်ရေးနှင့်သာလျှင်ဓာတ်ငွေ့စက်မှုထုတ်ကုန်များကိုအမျိုးမျိုး, အရည်အသွေးနှင့်အရေအတွက်အရခုန်ခြင်းနှင့်ဘောဇဉ်များဖြင့်တီထွင်နိုင်သည်။

microelectronics နှင့် semiconductor စက်မှုလုပ်ငန်းများတွင်ဓာတ်ငွေ့ application

Semiconductor ဖြစ်စဉ်တွင်ဓာတ်ငွေ့အသုံးပြုမှုသည်အမြဲတမ်းအရေးပါသောအခန်းကဏ် played မှအမြဲတမ်းအရေးပါသောအခန်းကဏ် played မှပါ 0 င်ခဲ့သည်။ ဓာတ်ငွေ့၏သန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှုသည်အစိတ်အပိုင်းများနှင့်ထုတ်ကုန်အထွက်နှုန်းများ၏စွမ်းဆောင်ရည်အပေါ်ပိုင်းခြားမှုသက်ရောက်မှုရှိသည်။

မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သောဓာတ်ငွေ့သယ်ယူပို့ဆောင်ရေးအတွက် piping piping ၏အရေးပါမှု

သံမဏိအရည်ပျော်ခြင်းနှင့်ပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်တွင် 200 ဂရမ်ခန့်သည်တစ်တန်နှုန်းကိုစုပ်ယူနိုင်သည်။ သံမဏိကိုပြုပြင်ပြီးတဲ့နောက်မှာညစ်ညမ်းတဲ့ညစ်ညမ်းမှုအမျိုးမျိုးနဲ့ပဲမတူပေမယ့်သတ္တုကျပ်တုတွေမှာလည်းဓာတ်ငွေ့ပမာဏကိုလည်းစုပ်ယူခဲ့တယ်။ ပိုက်လိုင်းမှတစ်ဆင့်လေစီးဆင်းမှုရှိသည့်အခါသတ္တုသည်ဓာတ်ငွေ့၏ဤအပိုင်းကိုစုပ်ယူသည်။ ပြွန်ထဲရှိလေစီးဆင်းမှုသည်ဆက်တိုက်စီးဆင်းမှုဖြစ်သည့်အခါပြွန်သည်သဘာဝဓာတ်ငွေ့ကိုဖိအားပေးသည်။ လေကြောင်းလိုင်းမှစုပ်ယူသည့်ဓာတ်ငွေ့သည်စိတ်ပိုင်းဖြတ်ထားသည့်ဓာတ်ငွေ့များကိုအညစ်အကြေးများအဖြစ် 0 င်ရောက်သည်။ တစ်ချိန်တည်းမှာပင်ထိုတစ်ချိန်တည်းမှာပင်ပြွန်၏အတွင်းပိုင်းမျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိသတ္တုသည်အမှုန့်များ၏မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိသတ္တုသည်အမှုန့်အချို့ကိုထုတ်လုပ်နိုင်ရန်အမှုန့်အချို့ကိုထုတ်ယူနိုင်ပြီးထိုသတ္တုဖုန်မှုအမှုန်များသည်ပြွန်အတွင်းရှိစင်ကြယ်သောဓာတ်ငွေ့များကိုလည်းညစ်ညမ်းစေသည်။ သယ်ယူပို့ဆောင်ရေးဓာတ်ငွေ့သန့်စင်ခြင်း၏သန့်ရှင်းမှုကိုသေချာစေရန် Tube ၏ဤဝိသေသလက်ခဏာသည်မရှိမဖြစ်လိုအပ်သည်။ ၎င်းသည်ပြွန်၏အတွင်းပိုင်းမျက်နှာပြင်တစ်ခုသာမကမြင့်မားသော 0 တ်စုံကိုခံနိုင်ရည်ရှိသည်။

ဓာတ်ငွေ့အားကောင်းသောစွမ်းဆောင်ရည်ဖြင့်အသုံးပြုသောအခါ, ဒီလိုမှမဟုတ်ရင်ပိုက်က corrirosion ကြောင့်အတွင်းပိုင်းမျက်နှာပြင်ပေါ်မှာ crossion အစက်အပြောက်တွေဆီကိုထုတ်လုပ်နိုင်ပြီးကြီးမားတဲ့ဓာတ်ငွေ့ကိုညစ်ညမ်းစေတဲ့စင်ကြယ်သောဓာတ်ငွေ့ကိုညစ်ညမ်းစေလိမ့်မည်။

မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်ခြင်းနှင့်မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှုနှင့်မြင့်မားသောသန့်ရှင်းရေးဓာတ်ငွေ့ထုတ်လွှင့်မှုနှင့်ကြီးမားသောစီးဆင်းမှုနှုန်းထားများဖြန့်ဖြူးခြင်း

အခြေခံအားဖြင့်၎င်းတို့အားလုံးသည်ဂဟေဆက်ရှိပြီးဂဟေဆော်သည့်အခါအဖွဲ့အစည်းတွင်အပြောင်းအလဲမလိုအပ်ပါ။ မြင့်မားသောကာဗွန်အကြောင်းအရာများနှင့်အတူပစ္စည်းများသည်ပိုက်ကွန်ထဲနှင့်အပြင်ဘက်ရှိဓာတ်ငွေ့များနှင့်အတူအပြန်အလှန်ထိုးဖောက် 0 င်ရောက်ခြင်း,

အကျဉ်းချုပ်သည်သန့်ရှင်းသောဓာတ်ငွေ့နှင့်အထူးဓာတ်ငွေ့ထုတ်လွှင့်ခြင်းပိုက်လိုင်းအတွက်အထူးသဖြင့်သန့်ရှင်းသောသံမဏိပြားများ (ပိုက်လိုင်း, အဆို့ရှင်များ, VMB, VMB, VMP) တွင်အဓိကအားဖြင့်သန့်ရှင်းသောတိုက်နယ်များအပါအ 0 င်သန့်ရှင်းစင်ကြယ်သောပိုက်လိုင်းစနစ်ကိုအထူးကုသရန်လိုအပ်သည်။

ထုတ်လွှင့်ခြင်းနှင့်ဖြန့်ဖြူးခြင်းအတွက်သန့်ရှင်းသောနည်းပညာ၏အထွေထွေအယူအဆ

အလွန်စင်ကြယ်သောနှင့်သန့်ရှင်းသောဓာတ်ငွေ့ခန္ဓာကိုယ်ထုတ်လွှင့်မှုများကို piping ကိုအသုံးပြုခြင်းသည်ဓာတ်ငွေ့၏ရှုထောင့်သုံးခုကိုသယ်ယူပို့ဆောင်ရန်လိုအပ်ချက်များသို့မဟုတ်ထိန်းချုပ်မှုများရှိသည်ဟုဆိုလိုသည်။

Ggas Peence ရှိအရောအနှောသန့်ရှင်းမှုအခြေအနေ - ဓာတ်ငွေ့သန့်ရှင်းမှုအခြေအနေများ - ဓာတ်ငွေ့တွင်မရောင့်ရဲနိုင်သောဝန်းကျင်ဖြစ်သောဓာတ်ငွေ့သန့်စင်ခြင်း၏ပါဝင်မှုသည်ပုံမှန်အားဖြင့်သဘာဝဓာတ်ငွေ့သန့်စင်ခြင်း၏ရာခိုင်နှုန်းဖြစ်သည်။ PPM, PPB, PPP ။

ခြောက်သွေ့ခြင်း - ဓာတ်ငွေ့၌သဲအစိုဓာတ်ကိုသိုလှောင်ထားသည့်ပမာဏ, c.

သန့်ရှင်းမှု - ဓာတ်ငွေ့, အမှုန်အရွယ်အစား, အမှုန်များ, အမှုန်အရွယ်အစား, အမှုန်များ, အမှုန်များ,

ညစ်ညမ်းမှုအရွယ်အစားခွဲခြားခြင်း - ညစ်ညမ်းသောအမှုန်များသည် pollowletant အမှုန်များ, pipeline soot များ,

က) ကြီးမားသောအမှုန်များ - အမှုန်များ - အမှုန်အရွယ်အစား5μmအထက်တွင်ရှိသည်

ခ) အမှုန် - 0.1μm-5μmအကြားပစ္စည်းအချင်း

ဂ) Ultra-micro အမှုန်များ - 0.1μmထက်နည်းသောအမှုန်အရွယ်အစား။

ဤနည်းပညာ၏လျှောက်လွှာကိုမြှင့်တင်ရန်, အမှုန်အရွယ်အစားနှင့်μmယူနစ်များကိုနားလည်နိုင်စွမ်းနားလည်စေရန်အတွက်အမှုန်အခြေအနေအစုတခုကိုရည်ညွှန်းရန်စီစဉ်ထားသည်

အောက်ဖော်ပြပါသည်တိကျသောအမှုန်များနှင့်နှိုင်းယှဉ်ခြင်းဖြစ်သည်