Semiconductor လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် သန့်စင်မြင့်ဓာတ်ငွေ့ ပေးပို့မှုစနစ်များအတွက် နည်းပညာဖြေရှင်းချက်

High-purity gas piping technology သည် high-purity gas supply system ၏ အရေးကြီးသော အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်ပြီး လိုအပ်သော သန့်စင်မြင့်ဓာတ်ငွေ့ကို အသုံးပြုသည့်အချိန်အထိ ပို့ဆောင်ပေးကာ အရည်အသွေးပြည့်မီသော အရည်အသွေးကို ဆက်လက်ထိန်းသိမ်းထားရန် အဓိကနည်းပညာဖြစ်သည်။သန့်စင်မှုမြင့်မားသော ဓာတ်ငွေ့ပိုက်လိုင်းနည်းပညာတွင် စနစ်၏ မှန်ကန်သော ဒီဇိုင်း၊ ဆက်စပ်ပစ္စည်းများနှင့် ဆက်စပ်ပစ္စည်းများ ရွေးချယ်မှု၊ ဆောက်လုပ်ရေးနှင့် တပ်ဆင်မှု၊ နှင့် စမ်းသပ်မှုတို့ ပါဝင်သည်။မကြာသေးမီနှစ်များအတွင်း၊ အကြီးစားပေါင်းစပ်ဆားကစ်များဖြင့် ကိုယ်စားပြုသည့် မိုက်ခရိုအီလက်ထရွန်းနစ်ထုတ်ကုန်များထုတ်လုပ်ခြင်းတွင် သန့်စင်မြင့်ဓာတ်ငွေ့များ၏ သန့်စင်မှုနှင့် အညစ်အကြေးပါဝင်မှုဆိုင်ရာ တင်းကျပ်သောလိုအပ်ချက်များသည် ကြီးမားသောပေါင်းစပ်ပတ်လမ်းများဖြင့် သန့်စင်မြင့်ဓာတ်ငွေ့များ၏ ပိုက်နည်းပညာကို ပိုမိုအလေးထားပြီး အလေးထားလာစေသည်။အောက်ဖော်ပြပါသည် ပစ္စည်းရွေးချယ်မှုမှ သန့်စင်မြင့်ဓာတ်ငွေ့ပိုက်လိုင်း၏ အကျဉ်းချုပ်ကို ခြုံငုံသုံးသပ်ချက်ဖြစ်သည်။of ဆောက်လုပ်ရေး၊ လက်ခံခြင်းနှင့်နေ့စဉ်စီမံခန့်ခွဲမှု။

အသုံးများသောဓာတ်ငွေ့အမျိုးအစားများ

အီလက်ထရွန်းနစ်စက်မှုလုပ်ငန်းတွင် အသုံးများသောဓာတ်ငွေ့များကို အမျိုးအစားခွဲခြားခြင်း။:

ဘုံဓာတ်ငွေ့များ(အစုလိုက်ဓာတ်ငွေ့): ဟိုက်ဒရိုဂျင် (H₂₎နိုက်ထရိုဂျင် (N₂), အောက်ဆီဂျင် (O₂) အာဂွန် (A₂) စသဖြင့်

အထူးသီးသန့်ဓာတ်ငွေ့များSiH တို့ ဖြစ်ကြပါသည်။₄ ,PH₃ ,B₂H_{6 ,}A₈H₃ ,CL ,HCL,CF₄ ,NH_3,POCL_3, SIH2CL₂ SIHCL3,NH_3,  BCL_{3 ,}SIF₄ ,CLF₃ ,CO,C₂F_6, N2O,F_2,HF,HBR SF₆…… စသည်တို့

အထူးဓာတ်ငွေ့အမျိုးအစားများကို ယေဘူယျအားဖြင့် သံချေးတက်ခြင်းအဖြစ် ခွဲခြားနိုင်သည်။ဓာတ်ငွေ့အဆိပ်၊ဓာတ်ငွေ့မီးလောင်လွယ်သည်။ဓာတ်ငွေ့လောင်ကျွမ်းနိုင်သော၊ဓာတ်ငွေ့, inertဓာတ်ငွေ့စသည်တို့။ အသုံးများသော ဆီမီးကွန်ဒတ်တာဓာတ်ငွေ့များကို ယေဘူယျအားဖြင့် အောက်ပါအတိုင်း ခွဲခြားထားသည်။

(ဈ) အဆိပ်သင့်ခြင်း/ အဆိပ်သင့်ခြင်း။ဓာတ်ငွေ့: HCl , BF₃, WF₆, HBr , SiH₂Cl₂, NH₃PH₃, Cl₂, BCl₃…စသည်တို့

(ii) မီးလောင်လွယ်ခြင်း။ဓာတ်ငွေ့: H₂, CH₄, SiH₄PH₃, AsH3, SiH₂Cl₂, ခ₂H₆, CH2F_2,CH₃F၊ CO... စသဖြင့်

(iii) လောင်ကျွမ်းနိုင်မှုဓာတ်ငွေ့:o₂, Cl₂, N₂အို၊ NF₃… စသဖြင့်

(iv) မသန်စွမ်းဓာတ်ငွေ့:N₂, CF₄၊ဂ၊₂F₆၊ဂ၊₄F_8,SF₆, CO₂Ne, Kr, He... စသဖြင့်

ဆီမီးကွန်ဒတ်တာဓာတ်ငွေ့များစွာသည် လူ့ခန္ဓာကိုယ်ကို အန္တရာယ်ဖြစ်စေသည်။အထူးသဖြင့် SiH ကဲ့သို့သော ဤဓာတ်ငွေ့အချို့₄ ယိုစိမ့်မှုသည် လေထဲတွင် အောက်ဆီဂျင်နှင့် ပြင်းထန်စွာ တုံ့ပြန်ပြီး စတင်လောင်ကျွမ်းနေသရွေ့ သူ့အလိုလို လောင်ကျွမ်းခြင်း၊နှင့် AsH₃အလွန်အဆိပ်သင့်ပြီး အနည်းငယ် ယိုစိမ့်မှု တစ်စုံတစ်ရာကြောင့် လူ့အသက်အန္တရာယ်ကို ဖြစ်စေနိုင်သည်၊ ယင်းမှာ သိသာထင်ရှားသော အန္တရာယ်များကြောင့် ဖြစ်သောကြောင့် စနစ်ဒီဇိုင်း၏ ဘေးကင်းမှုအတွက် လိုအပ်ချက်များမှာ အထူးမြင့်မားပါသည်။

ဓာတ်ငွေ့အသုံးချမှုနယ်ပယ်  

ခေတ်မီစက်မှုလုပ်ငန်း၏ အရေးကြီးသော အခြေခံကုန်ကြမ်းတစ်ခုအနေဖြင့် ဓာတ်ငွေ့ထုတ်ကုန်များကို တွင်ကျယ်စွာအသုံးပြုကြပြီး သတ္တုဗေဒ၊ သံမဏိ၊ ရေနံ၊ ဓာတုဗေဒလုပ်ငန်း၊ စက်ယန္တရား၊ အီလက်ထရွန်နစ်ပစ္စည်း၊ ဖန်၊ ကြွေထည်များ၊ ဆောက်လုပ်ရေးပစ္စည်းများ၊ ဆောက်လုပ်ရေးလုပ်ငန်းများတွင် အသုံးပြုကြသည်။ အစားအသောက်၊ ဆေးဝါးနှင့် ဆေးဘက်ဆိုင်ရာ ကဏ္ဍများ။ဓာတ်ငွေ့အသုံးပြုမှုသည် အထူးသဖြင့် ဤနယ်ပယ်များ၏ နည်းပညာမြင့်မားမှုအပေါ် အရေးပါသောသက်ရောက်မှုရှိပြီး ၎င်း၏မရှိမဖြစ်လိုအပ်သော ကုန်ကြမ်းဓာတ်ငွေ့ သို့မဟုတ် လုပ်ငန်းစဉ်ဓာတ်ငွေ့ဖြစ်သည်။အမျိုးမျိုးသော စက်မှုကဏ္ဍသစ်များနှင့် ခေတ်မီသိပ္ပံနှင့်နည်းပညာများ၏ လိုအပ်ချက်များနှင့် မြှင့်တင်ခြင်းဖြင့်သာ၊ ဓာတ်ငွေ့လုပ်ငန်း၏ ထုတ်ကုန်များသည် အမျိုးအစား၊ အရည်အသွေးနှင့် အရေအတွက်တို့အရ ခုန်ပျံကျော်လွှားနိုင်မည်ဖြစ်သည်။

မိုက်ခရိုအီလက်ထရွန်းနစ်နှင့် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ငန်းတွင် ဓာတ်ငွေ့အသုံးပြုမှု

ဓာတ်ငွေ့အသုံးပြုမှုသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ငန်းစဉ်တွင် အရေးပါသောအခန်းကဏ္ဍမှ အမြဲပါဝင်နေပါသည်။ အထူးသဖြင့် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ငန်းစဉ်ကို သမားရိုးကျ ULSI၊ TFT-LCD မှ လက်ရှိ အသေးစားလျှပ်စစ်စက်မှုလုပ်ငန်း (MEMS) စက်မှုလုပ်ငန်းနယ်ပယ်အသီးသီးတွင် တွင်ကျယ်စွာအသုံးပြုခဲ့သည်။ ၎င်းသည် semiconductor process ဟုခေါ်သော ထုတ်ကုန်များ၏ ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်အဖြစ် အသုံးပြုသည်။ဓာတ်ငွေ့၏ သန့်စင်မှုသည် အစိတ်အပိုင်းများနှင့် ထုတ်ကုန်များ၏ စွမ်းဆောင်ရည်အပေါ် ပြတ်ပြတ်သားသား သက်ရောက်မှုရှိပြီး ဓာတ်ငွေ့ထောက်ပံ့မှု၏ ဘေးကင်းမှုသည် ဝန်ထမ်းများ၏ ကျန်းမာရေးနှင့် စက်ရုံလည်ပတ်မှု ဘေးကင်းရေးတို့နှင့် သက်ဆိုင်ပါသည်။

သန့်စင်မြင့်ဓာတ်ငွေ့ သယ်ယူပို့ဆောင်ရေးတွင် သန့်ရှင်းသော ပိုက်လိုင်း၏ အရေးပါမှု

သံမဏိအရည်ပျော်ခြင်းနှင့်ပြုလုပ်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်တွင်၊ တစ်တန်လျှင်ဓာတ်ငွေ့ 200 ဂရမ်ခန့်စုပ်ယူနိုင်သည်။Stainless Steel ကို ပြုပြင်ပြီးနောက်၊ ၎င်း၏မျက်နှာပြင်သည် အမျိုးမျိုးသောညစ်ညမ်းမှုများဖြင့် စေးကပ်နေရုံသာမက ၎င်း၏သတ္တုပြားများတွင်လည်း အချို့သောဓာတ်ငွေ့ပမာဏကို စုပ်ယူပါသည်။ပိုက်လိုင်းမှတဆင့် လေ၀င်လေထွက်ရှိသောအခါ သတ္တုသည် ဤဓာတ်ငွေ့၏ အစိတ်အပိုင်းကို စုပ်ယူပြီး လေ၀င်လေထွက်သို့ ပြန်လည်ဝင်ရောက်ကာ သန့်စင်သောဓာတ်ငွေ့ကို ညစ်ညမ်းစေပါသည်။ပြွန်အတွင်းရှိ လေ၀င်လေထွက်သည် အဆက်မပြတ် စီးဆင်းနေသောအခါ၊ tube သည် ဖိအားအောက်တွင် ဓာတ်ငွေ့ကို စုပ်ယူပြီး လေစီးဆင်းမှု ရပ်တန့်သွားသောအခါ၊ tube မှ စုပ်ယူထားသော ဓာတ်ငွေ့များသည် ဖြေရှင်းရန် ဖိအားကျဆင်းသွားကာ ပြေလည်သွားသော ဓာတ်ငွေ့များသည် ပြွန်အတွင်းရှိ သန့်စင်သော ဓာတ်ငွေ့များထဲသို့ ဝင်လာပါသည်။ အညစ်အကြေးအဖြစ်။တစ်ချိန်တည်းမှာပင်၊ စုပ်ယူမှုနှင့် ကြည်လင်ပြတ်သားမှုတို့ကို ထပ်ခါတလဲလဲ ပြုလုပ်ထားသောကြောင့် ပြွန်အတွင်းမျက်နှာပြင်ရှိ သတ္တုသည် အမှုန့်ပမာဏအချို့ကို ထုတ်ပေးနိုင်ပြီး ယင်းသတ္တုမှုန်များသည် ပြွန်အတွင်းရှိ သန့်စင်သောဓာတ်ငွေ့များကိုလည်း ညစ်ညမ်းစေပါသည်။ပြွန်၏ဤအင်္ဂါရပ်သည် သယ်ယူထားသောဓာတ်ငွေ့များ၏ သန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှုကို သေချာစေရန်အတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပြီး ၎င်းသည် ပြွန်အတွင်းပိုင်းမျက်နှာပြင်၏ ချောမွေ့မှုသာမက မြင့်မားသော ခံနိုင်ရည်ရှိရန်လည်း လိုအပ်ပါသည်။

ပြင်းထန်သော အဆိပ်သင့်မှုရှိသော ဓာတ်ငွေ့ကို အသုံးပြုသောအခါ၊ ပိုက်များအတွက် ချေးခံနိုင်သော သံမဏိပိုက်များကို အသုံးပြုရပါမည်။မဟုတ်ပါက၊ ပိုက်သည် ချေးယူမှုကြောင့် အတွင်းမျက်နှာပြင်တွင် ချေးအစက်အပြောက်များ ထွက်လာမည်ဖြစ်ပြီး ပြင်းထန်သော အခြေအနေများတွင် သတ္တုထုတ်ယူခြင်း သို့မဟုတ် ဖောက်ထွင်းခံရသည့် ဧရိယာကျယ်ဝန်းကာ သန့်စင်သောဓာတ်ငွေ့များကို ညစ်ညမ်းစေမည်ဖြစ်သည်။

မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှုနှင့် သန့်ရှင်းမှုမြင့်မားသော ဓာတ်ငွေ့ပိုက်လိုင်းများ သွယ်တန်းခြင်းနှင့် ဖြန့်ဖြူးရေးပိုက်လိုင်းများ၏ ကြီးမားသော စီးဆင်းမှုနှုန်း။

မူအရ၊ ၎င်းတို့အားလုံးကို ဂဟေဆော်ထားပြီး၊ ဂဟေဆော်ရာတွင် အသုံးပြုသည့်ပြွန်များသည် အဖွဲ့အစည်းအတွင်း အပြောင်းအလဲမရှိရန် လိုအပ်ပါသည်။ကာဗွန်ပါဝင်မှု မြင့်မားလွန်းသော ပစ္စည်းများသည် ဂဟေဆက်သောအခါတွင် ဂဟေဆက်ထားသော အစိတ်အပိုင်းများ၏ လေ၀င်လေထွက်လွန်ကဲမှု ကြောင့် ပိုက်အတွင်းနှင့် အပြင်ဘက်သို့ ဓာတ်ငွေ့များ အပြန်အလှန် ထိုးဖောက်ဝင်ရောက်ပြီး ပေးပို့သော ဓာတ်ငွေ့များ၏ သန့်ရှင်းမှု၊ ခြောက်သွေ့မှုနှင့် သန့်ရှင်းမှုကို ပျက်ပြားစေပြီး ဆုံးရှုံးမှု ဖြစ်စေသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ကြိုးပမ်းမှုအားလုံး။

အချုပ်အားဖြင့်ဆိုရသော် သန့်စင်မြင့်ဓာတ်ငွေ့နှင့် အထူးဓာတ်ငွေ့ပိုက်လိုင်းအတွက်၊ သန့်စင်မြင့်မားသော ပိုက်လိုင်းစနစ် (ပိုက်များ၊ ပရိဘောဂများ၊ အဆို့ရှင်များ၊ VMB၊ VMP အပါအဝင်) သန့်စင်မြင့်မားသော ပိုက်လိုင်းကို ပြုလုပ်ရန်အတွက် အထူးကုသမှုကို အသုံးပြုရန်လိုအပ်ပါသည်။ သန့်စင်မြင့်ဓာတ်ငွေ့ဖြန့်ဖြူးရေးသည် အရေးကြီးသောတာဝန်ကို ယူထားသည်။

သွယ်တန်းခြင်းနှင့် ဖြန့်ဖြူးရေးပိုက်လိုင်းများအတွက် သန့်ရှင်းသောနည်းပညာ၏ ယေဘုယျသဘောတရား

ပိုက်ဖြင့် သွယ်တန်းထားသော အလွန်သန့်စင်ပြီး သန့်ရှင်းသော ဓာတ်ငွေ့ကိုယ်ထည်ကို ပို့လွှတ်ခြင်းသည် ဓာတ်ငွေ့၏ အသွင်အပြင်သုံးမျိုးအတွက် အချို့သော လိုအပ်ချက် သို့မဟုတ် ထိန်းချုပ်မှုများ ရှိနေသည်ဟု ဆိုလိုသည်။

ဓာတ်ငွေ့သန့်စင်မှု- gGas အတွင်းရှိ လေထု၏ညစ်ညမ်းမှုအကြောင်းအရာ- ဓာတ်ငွေ့အတွင်းရှိညစ်ညမ်းသောလေထု၏အကြောင်းအရာကို 99.9999% ကဲ့သို့သော ဓာတ်ငွေ့သန့်စင်မှုရာခိုင်နှုန်းအဖြစ် ဖော်ပြလေ့ရှိပြီး 99.9999% ကဲ့သို့လည်း ထုထည်အချိုးအစား ညစ်ညမ်းသောလေထုပါဝင်မှု ppm၊ ppb၊ ppt။

ခြောက်သွေ့ခြင်း- ဓာတ်ငွေ့တွင်းရှိ အစိုဓာတ်ပမာဏ သို့မဟုတ် စိုစွတ်မှုဟုခေါ်သော ပမာဏ၊ နှင်းရည်အမှတ်-70 ကဲ့သို့သော လေထုဖိအား နှင်းရည်အမှတ်-70 ကဲ့သို့သော နှင်းရည်အမှတ်သတ်မှတ်ချက်များတွင် ဖော်ပြလေ့ရှိသည်။ဂ။

သန့်ရှင်းမှု- ဓာတ်ငွေ့တွင်ပါရှိသော ညစ်ညမ်းအမှုန်အရေအတွက်၊ µm အရွယ်အစား၊ အမှုန်မည်မျှ/M3 ကို ဖော်ပြရန်၊ compressed air အတွက်၊ များသောအားဖြင့် ရှောင်လွှဲ၍မရသော အစိုင်အခဲအကြွင်းအကျန်များ mg/m3 ၏ သတ်မှတ်ချက်များတွင်လည်း ဖော်ပြသည်၊၊ ဆီပါဝင်မှုအား ဖုံးအုပ်ထားသည့် ရှောင်လွှဲ၍မရသော အကြွင်းအကျန်များ .

ညစ်ညမ်းမှု အရွယ်အစား အမျိုးအစား ခွဲခြားခြင်း- ညစ်ညမ်းသော အမှုန်အမွှားများကို အဓိက ရည်ညွှန်းသည် ၊ အဓိက အားဖြင့် ပိုက်လိုင်း မှ သတ္တု အမှုန်အမွှား များ၊ လေထု အမှိုက် များမှ ထုတ်ပေးသော ချေးများ ၊ ချေးများ ၊ အဏုဇီဝသက်ရှိ များ၊ phages နှင့် အစိုဓာတ် ပါဝင်သော ဓာတ်ငွေ့ ငွေ့ရည်ဖွဲ့ အမှုန်အမွှားများ စသည်တို့ ကို ရည်ညွှန်း သည် ။ ဟူ၍ ခွဲခြားထားသည်။

က) ကြီးမားသောအမှုန်များ – အမှုန်အရွယ်အစား 5μm အထက်

b) အမှုန် – ပစ္စည်းအချင်း 0.1μm-5μm ကြား

ဂ) Ultra-micro particles – 0.1μm အောက် အမှုန်အရွယ်အစား။

ဤနည်းပညာ၏အသုံးချမှုကို တိုးမြှင့်ရန်အတွက်၊ အမှုန်အရွယ်အစားနှင့် μm ယူနစ်များကို နားလည်သဘောပေါက်နိုင်စေရန်အတွက် သီးခြားအမှုန်အမွှားအခြေအနေအစုံကို ကိုးကားရန် ထောက်ပံ့ပေးထားသည်။

အောက်ဖော်ပြပါသည် သီးခြားအမှုန်များ၏ နှိုင်းယှဉ်ချက်ဖြစ်သည်။